芯源微688037：光刻機龍頭股。

作為與光刻機配合進行作業的關鍵處理設備，公司生產的涂膠/顯影機成功打破國外廠商壟斷并填補國內空白，其中在LED芯片制造及集成電路制造后道先進封裝等環節，作為國內廠商主流機型已成功實現進口替代；通過多年的技術研發、實踐應用積累以及持續承擔國家02重大專項，公司成功突破了應用于集成電路制造前道晶圓加工環節的涂膠顯影設備技術，成型產品目前正在長江存儲、上海華力等前道芯片制造廠商進行工藝驗證。